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重量: 825 kg 接口: 4” bajonett interface 应用: 非接触式测量球体
刚性花岗岩塔架,通过四个减震器被动隔振 - 用于无级调节测量工作台的操纵杆,线性滑轨采用无游隙轴承 - 工作台由伺服电机和滚珠丝杠主轴驱动 工作台由伺服电机和滚珠丝杠主轴驱动,速度可通过操纵杆调节(无级调节) - 手动微调,使用细牙螺杆,带 高精度滚柱导轨 - 3轴工作台(基本型机床只有Z轴;可选配不同的X-Y轴型号 不同的X-Y轴选项) - 各种干涉仪模块: MarOpto 4", Zygo VeriFire - 用于参考球的4 "卡口接口,与Zygo、Zeiss F-Aplanar等兼容。Zygo、Zeiss F-Aplanar等。
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重量: 1600 kg 接口: 4“ or 6“ Bayonet-Interface (depending on interferometer module) 应用: 车间干涉仪 球面和非球面 光学元件
- 优化用于生产 测量支架由花岗岩制成,具有高的精度和刚度 - 不锈钢机器底座。被动式空气减震元件安装在稳定的钢制底座上。 - 3个带花岗岩塔架的被动空气减震元件,具有最高的精度和刚度。 - 弧度滑块,带无间隙预应力摩擦轴承,由伺服电机驱动。带无间隙预应力摩擦轴承的半径滑块,由伺服电机驱动。操纵杆用于变 操纵杆用于变速行走,最大行程1500mm。 - 三轴精密可调工作台(多种X/Y测量选项 三轴精密可调工作台) - 海德汉玻璃光栅尺,测量精度为5微米。海德汉玻璃光栅尺,总行程测量精度为5 µm,用于半径的绝对测量精度、 光栅尺靠近光轴安装(阿贝原理) - 通过激光对中测量半径轴(包括 测量协议) - 创新性地安装当前类型的干涉仪(MAHR MarOpto FI 1100 Z, Zygo 4 通过激光对中测量半径轴,包括测量协议。 英寸和6英寸,Äpre S100/150 HR),包括分析软件。 软件 - 通过镜子系统重新定向半径轴,节省空间 安装方便 - 包括带集成电气柜和存储系统的移动式 包括带集成电气柜和存储系统的移动式 PC 工作站
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重量: 1600 kg 接口: 4“ or 6“ Bayonet-Interface (depending on interferometer module) 应用: 用于测量球面和非球面光学元件的干涉仪
用于球面和非球面检测的高精度Fizeau车间干涉仪。 高精度运动学和高达150毫米的工作范围使该测量机成为高端光学产品生产不可或缺的工具。 测量支架由减震花岗岩制成,具有高的精度和刚度 被动空气减震元件安装在稳定的钢制底座上 半径滑块,带预载无间隙抗摩擦轴承,由伺服电机驱动,通过操纵杆变速,行程1050毫米 三轴工作台(可选配五轴工作台) 海德汉玻璃光栅尺,总行程测量精度为5 μm,实现半径的绝对测量精度,光栅尺安装在光轴附近(阿贝原理) 创新的、便于维护的现有类型干涉仪安装,包括分析软件(MAHR MarOpto FI 1100 Z、Zygo GPI/Verifire 4英寸和6英寸干涉仪)
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重量: 2500 kg 应用: 多功能缝合干涉仪
新型多功能缝合干涉仪MSI 300专为测试直径达300毫米的高孔径球体而设计。可选配最大300毫米的平面光学测量仪 刚性花岗岩底座和无源空气轴承 Z轴调整中的高精度半径滑块 MAHR MarOpto FI 1100 Z干涉仪模块 带X/Y轴十字滑台的反向设计干涉仪模块 高分辨率旋转轴(B轴),用于在光路中定位高孔径球体 直接驱动旋转轴(C轴),用于旋转光路中的高孔径球和可选平面 标准工件夹头HD-40(可选配其他夹头) OptoTech Inspect Mini EL-F数字式4 "菲佐干涉仪模块(其它模块可根据要求提供) 设计紧凑,集成PC工作区 操作 传统(手动)或使用μStitch MSI软件进行自动轴控制