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干涉仪配置: Not Specified 光源: 1550nm 输出极化: Linear 有效值重复性: Not Specified 有效值精度: Not Specified
C03是一种传感头类型,针对中等工作距离进行了优化,并使用回复反射器作为目标。探测光束被放大,使得其发散度减小,并且在目标反射镜处反射之后可以收集更多的光功率。C03传感头类型基于标准C01型传感头,包括光纤准直光学器件和分束器。分束器将光束分成参考光束和探测光束。参考光束被涂在分束器立方体一侧的内部参考镜反射。在C03传感器头中,探测光束在被望远镜(两个透镜)扩展后离开传感器头,以显著降低光束发散度。它被目标表面反射并跟踪其相对位移。分束器的前表面标记每个皮级测量的绝对零位置,因为这里探测光束和参考光束具有相等的长度。
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干涉仪配置: Not Specified 光源: 1550nm 输出极化: Linear 有效值重复性: Not Specified 有效值精度: Not Specified
F01是具有聚焦探测光束的传感头类型。这允许测量小目标的位移。此外,传感器头提供高角度公差。如图1所示,在预准直之后,集成分束器将光分成参考光束和探测光束。参考光束被参考反射镜反射,该参考反射镜被涂覆到分束器立方体的一侧。探测光束由透镜系统聚焦并从头部射出。分束器的前表面标记每个皮级测量的绝对零位置,因为这里探测光束和参考光束具有相等的长度。因此,工作距离(WD)不等于距头部的距离(即焦距f),因为透镜系统仅集成到探测光束中。