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传感器类型: InGaAs Array # 像素(宽度): 1024 # 像素(高度): 1 像素大小: 12.5um 峰值量子效率: 82%
LineCAM12是一款先进的行扫描相机,在USB3或Camera Link输出上以37Klines/s的速度提供14位数字数据。相机目前有两种类型:用于光谱学的250um高像素和用于机器视觉应用的12.5um方形像素。相机具有令人难以置信的多功能性,可实现从75Ke-到100Me-的全阱,具有128个变化步骤以及从10μs到150s的积分时间。片内光学像素分箱(其中每隔一个探测器相邻像素)可通过命令以光谱分辨率换取更高的信号电平。还可通过简单的命令结构激活,在同一相机平台中以512分辨率实现48klines/s的像素跳跃或面元划分。TEC稳定相机具有31个非均匀性校正(NUC)表,其中15个为工厂设置,16个为用户定义的表,以实现给定环境的灵活性。这种晶格匹配的InGaAs阵列是背照式的,能够在0.4到1.7um的范围内进行检测,没有焊盘或导线妨碍信号,并较大限度地减少正面照明阵列中的杂散反射,该阵列在有源成像区域附近有许多导线键合。该阵列可以定制,以允许在有源探测器区域放置滤光器,这在正面照明设备中几乎是不可能的。我们展示了该设备与Metaphase的光源一起工作。
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印刷技术: Grayscale Lithography 最小 XY 特征尺寸: 1000nm
LithoScale系统采用EV Group的MLE™无掩模曝光技术,通过结合强大的数字处理功能,实现实时数据传输和即时曝光、高结构分辨率和吞吐量可扩展性,从而解决传统瓶颈问题。其无掩模方法消除了与掩模相关的耗材,而带有可调固态激光源的曝光系统设计具有高冗余度和长寿命稳定性,并具有独特的自动校准功能,无需维护。强大的实时数字处理功能可实现从设计文件到基板的即时曝光,从而避免每个数字掩模布局的数小时转换时间。LithoScale具有整个基板表面的高分辨率(<2µm L/s)、动态芯片级可寻址曝光,可实现灵活的无耗材处理和低拥有成本(COO)。LithoScale系统集成了全晶圆顶部和背面对准,利用具有可见近红外功能的专用物镜和专有卡盘设计,可适应高达300 mm的晶圆尺寸。该系统具有自动聚焦的动态对准模式,以适应基板材料和表面变化。精细控制聚焦水平位置的能力保持侧壁陡峭以及抗蚀剂的期望3D轮廓,同时防止边缘顶部和底部。大工作距离和自动自适应聚焦确保整个曝光表面的图案均匀性。它还提供个性化的模具加工,同时快速全场定位和动态对准可实现各种基板尺寸和形状的高可扩展性。
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传感器类型: Other, CCD # 像素(宽度): 1024 # 像素(高度): 252 像素大小: 24um 全帧速率: 1000fps
我们的凸轮控制(CC)用于管理较多两个传感器头。传感头通过1.5米铜缆连接。CAM控制通过光纤电缆(默认为5米,根据需要可达100米)连接到PC的PCIe接口板。此外,凸轮控制可以配备额外的选项。凸轮控制和IO控制可以链接到3001系列的其他摄像机(较多8个摄像机)。传感头的传感器当需要长曝光时间时,光谱应用的较佳选择是HamamatsupDA(光电二极管阵列)或FFT(CCD阵列,FFT:全帧传输),它们具有特别大的像素尺寸,并在低光应用中具有更高的灵敏度。FFT可以在面元模式中使用,以减少读取噪声。InGaAsIR传感器甚至提供扩展范围(G11608)。3001系列1024像素传感器的较大线速率(MLR)为1 kHz。512像素可以达到2kHz,256像素可以达到4kHz。