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Nano-P系列是压电驱动、闭环、线性纳米定位器,采用独特的柔性铰链设计。使用先进的放电加工工艺,柔性铰链完全由单块高强度钛加工而成。该铰链首次在管状压电纳米定位器上使用,确保了较高程度的可重复性和负载能力。与市场上外观类似的产品不同,Nano-P系列没有内置碟形弹簧。贝氏弹簧不是无摩擦的,因此不能提供真正的纳米精密定位器的高度可重复性。纳米P系列的导向机构是一个真正的弯曲弹簧-消除机械摩擦和静摩擦。Nano-P系列由Invar和钛制成,具有热稳定性和机械强度的较佳组合,是较苛刻的纳米定位和计量应用的理想选择。Nano-P系列提供三种标准运动范围,集成位置传感器,采用专有的PicoQ®技术,在闭环控制下提供皮米精度的绝对、可重复位置测量。提供定制系统。
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光源类型: Pulsed LED 光源波长: 460nm 样品反射率: 1 - 100 % 垂直范围: 115nm 有效值重复性: <0.005 nm
NanoCam SQ动态光学轮廓仪可测量超光滑光学和精密表面的表面粗糙度。非接触式NanoCam SQ是对传统工作站光学轮廓仪所需的杂乱复制方法的巨大改进,并为测量大型光学器件提供了出色的便携性。通过启用机器上的粗糙度计量,NanoCam SQ提高了产量。通过消除运输昂贵的关键任务光学器件的需要,NanoCam降低了损坏的风险。NanoCam SQ光学轮廓仪采用动态干涉测量法(Dynamic Interferometry®),集成了高速光学传感器,测量速度比传统光学轮廓仪快数千倍。由于采集时间非常短,NanoCam SQ可以在振动的情况下进行测量,因此可以将仪器安装在抛光设备、台架或机器人末端执行器上。NanoCam SQ结构紧凑,重量轻,可直接放置在大型光学器件上。有了这种定位的自由度,NanoCam可以测量大型光学器件上任何位置的表面光洁度。NanoCam SQ动态光学轮廓仪包括4Sight高级分析软件。业界领先的4Sight报告ISO 25178表面粗糙度参数(S参数),并提供广泛的2D和3D分析选项、数据过滤、屏蔽、数据库和导入/导出功能。