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反射率(%): 50 % 透射率(%): 50 % 分束器厚度: 2 mm 分束器直径: 12.7 mm
这些通用型板式分束器的使用角度为 45°。我们的平板分光镜可用于可见光、近红外和电信应用。我们备有用于可见光应用(如成像)的 50/50 板式分光镜和 70/30 板式分光镜,以及用于近红外应用(如医疗、激光应用和干涉仪)的 50/50 板式分光镜。 分束器多层介质涂层沉积在具有较好平整度和表面质量的标准白浮法玻璃上。所有通用级分束器的背面都有一层多层宽带抗反射涂层,以消除二次反射问题。 奈特光学的平板分光镜有 1 毫米和 3 毫米两种厚度。1 毫米厚的分光镜适用于对紧凑性和重量有要求的场合。所用的白色浮法玻璃可避免强烈的红外吸收,因此在近红外板式分束器中特别有用。
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反射率(%): 33 % 透射率(%): 67 % 分束器厚度: 1.1 mm 分束器直径: 2.5 mm
这些通用型板式分束器的使用角度为 45°。我们的平板分束器可用于可见光、近红外和电信应用。我们备有用于可见光应用(如成像)的 50/50 板式分光镜和 70/30 板式分束器,以及用于近红外应用(如医疗、激光应用和干涉仪)的 50/50 板式分光镜。 分束器多层介质涂层沉积在具有较好平整度和表面质量的标准白浮法玻璃上。所有通用级分束器的背面都有一层多层宽带抗反射涂层,以消除二次反射问题。 奈特光学的平板分束器有 1 毫米和 3 毫米两种厚度。1 毫米厚的分束器适用于对紧凑性和重量有要求的场合。所用的白色浮法玻璃可避免强烈的红外吸收,因此在近红外板式分光镜中特别有用。
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波长: 193 nm 功率: 60-90 W
先进产品制造目前仍继续应用摩尔定律,技术节点日益微细化。这些尖端产品对转印到晶圆上的曝光图案、特别是EPE(Edge Placement Error)具有很高的要求。作为光源通过降低直接影响EPE的CD LER/LWR(Line Edge Roughness/Line Width Roughness),为提高批量生产现场的成品率提供帮助。 新型浸没式曝光光源“GT66A”通过新开发的光学模块成功地将散斑对比度降低30%,减少了LER/LWR。还通过引入新的高度耐用零件,将模块的维护周期延长30%。由此实现进一步改善工序成品率、提高光源的可用性,为尖端节点批量生产的高生产性提供帮助。