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镜子尺寸: 1mm 测量频率: 22000Hz 测量频率: 1400Hz 光学扫描范围: -20 - 20 deg 光学扫描范围: 15deg
我们提供完整的MEMS激光扫描投影解决方案,包括MEMS投影芯片组和微型投影仪模块的参考设计。MEMS投影芯片组包括:光栅扫描2D MEMS反射镜MEMS位置传感器IC扫描显示控制器IC微型投影仪解决方案提供宽色域、高对比度和无聚焦操作。微型投影仪引擎的体积可以小到2cc,厚度可以小到5mm。40流明的高亮度解决方案可用于多个RGB激光器和更大的引擎尺寸。我们的2D MEMS反射镜有两种工作原理:双谐振扫描和光栅扫描。标准镜面涂层是用于可见波长应用的Al和作为用于NIR和IR应用的可选涂层的Au。光栅扫描类型专为高分辨率成像应用而设计。
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中心波长: 1064nm 重复频率: 10 - 10 kHz 脉冲能源: 0.01mJ 脉冲持续时间: 1000fs 极化: Unspecified
被动调Q微片固态激光器(微片激光器)是一种方便的短脉冲发射源(0.5至1ns),具有高脉冲能量(10μJ)和接近衍射极限的光束质量。微芯片激光器的应用可以通过使用一个或多个放大器级增加其脉冲能量和平均功率来显著扩展,但前提是放大器保持微芯片发射的固有光束质量和其他所需属性。我们已经证明,双通VHGM放大器可以将1064nm微芯片振荡器的脉冲能量和平均功率分别增加到500uJ和5W以上,同时保持微芯片激光器的光束质量和发射光谱。下图显示了2通放大器的平均1064nm输出功率与放大器驱动电流(在10kHz的脉冲率下)的关系,并且是注入到2通放大器中的1064nm种子功率的函数。放大器中的较大808nm泵浦功率为40W。考虑到将种子功率减少10倍(至约10mW)导致放大器输出功率减少不到2倍,2通放大器在100mW种子功率下很好地饱和。在2通放大器的输出端不需要法拉第隔离器,而在其他设计中经常需要法拉第隔离器来将2通放大光束与输入种子光束分离,从而导致更紧凑、更高效和更低成本的MOPA系统。在JG Manni,Optics Communications 252:117-126(2005)中提供了更多细节。微芯片激光振荡器现在是商业上可获得的,其可以在200ps脉冲持续时间中产生10nJ脉冲能量,并且在100ps脉冲中产生4nJ脉冲能量。(见www.batop.de)我们计划将这种微芯片激光器与我们的双通道VHGM放大器配对,并将在此网页上报告我们的结果。
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致动器数量: 3 波前倾斜行程: 10um 学生人数: 2.4mm 反光涂层材料: Protected Silver
Mirrorcle Technologies公司的无万向架双轴扫描MEMS反射镜装置基于专有的ARI-MEMS制造技术,该技术较初是通过加州伯克利的亚得里亚海研究所(“ARI”)的研究项目开发的。它们在两个轴上提供非常快速的光束转向,同时需要超低功耗。反射镜将激光束或图像偏转到每个轴上高达32°的光学扫描角度(点对点或准静态模式)以及谐振模式中的更高角度。与体积庞大的基于检流计的光学扫描仪相比,这些设备所需的驱动功率要小几个数量级:驱动反射镜倾斜旋转的静电致动器的连续全速操作消耗的功率小于1mW。Mirrorcle Technologies MEMS反射镜完全由单片单晶硅制成,具有出色的可重复性和可靠性。平坦、光滑的镜面涂有一层具有高宽带反射率的金属薄膜。较小和中等尺寸的反射镜被制造为硅MEMS芯片的集成部分,而较大的反射镜被粘合到致动器上,从而允许定制反射镜尺寸。