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  • G41K-1H KrF 4 kHz准分子激光器 激光器模块和系统
    日本
    厂商:Gigaphoton Inc.
    混合气体: KrF 波长: 248 nm 脉冲能源: 10mJ 平均功率: 40W 最大重复率: 4000Hz

    作为第二代4-kHz准分子激光器G41K的升级版本,G41K-1H在G41K平台上安装了磁悬浮激光腔和高效缩线和监控模块作为标准功能,以实现40 W的高输出,比其他任何产品都高出一个等级。G41K-1H将每个光学模块的寿命延长到300亿个脉冲(比G41K长50%)。通过更换模块,G41K可在现场升级为G41K-1H。

  • G42A 4-kHz ArF准分子激光器 激光器模块和系统
    日本
    厂商:Gigaphoton Inc.
    混合气体: ArF 波长: 193 nm 脉冲能源: 5mJ 平均功率: 20W 最大重复率: 4000Hz

    用于80-nm技术节点的4-kHz ARF准分子激光器

  • GT40A 4-kHz ArF准分子激光器 激光器模块和系统
    日本
    厂商:Gigaphoton Inc.
    混合气体: ArF 波长: 193 nm 脉冲能源: 11.25mJ 平均功率: 45W 最大重复率: 4000Hz

    型号GT40A使用注入锁定谐振器(世界上先进个)作为光刻工具光源,以允许同时保持更窄的光谱带宽和更高的输出,这是传统技术难以实现的组合。此外,它提供了较低的峰值脉冲能量,减少了对光刻工具光学器件的损坏,从而实现了行业中较低的运行成本。型号GT40A还配备了新开发的高级自诊断功能,并大大提高了其可维护性,例如易于更换模块,以实现更高的可靠性和更长的正常运行时间。

  • GT60A 6 kHz准分子激光器 激光器模块和系统
    日本
    厂商:Gigaphoton Inc.
    混合气体: ArF 波长: 193 nm 脉冲能源: 10mJ 平均功率: 60W 最大重复率: 6000Hz

    Gigaphoton公司开始批量生产GT40A不到一年,现已成功开发出GT60A,其重复率是GT40A的1.5倍。GT60A是较新一代型号,采用与GT40A相同的注入锁定平台,已被全球半导体行业的主要用户所接受。GT40A的设计理念和可靠性在业界广受好评,由于GT60A基于同一平台,较大限度地实现标准化,并能够使用通用组件,从而确保用户从一开始就实现高可靠性。

  • GT61A 6 kHz准分子激光器 激光器模块和系统
    日本
    厂商:Gigaphoton Inc.
    混合气体: ArF 波长: 193 nm 脉冲能源: 10mJ 平均功率: 60W 最大重复率: 6000Hz

    在我们开始大规模生产和出货GT60A不到一年的时间里,Gigaphoton成功开发了GT61A。与GT60A相比,型号GT61A的光谱带宽提高了30%(E95%),激光室寿命更长,从而减少了停机时间和维护成本。GT61A是GT系列的第三代型号,采用了与GT40A和GT60A型号相同的注入锁定平台,这两个型号已经被全球半导体行业的主要用户所接受。GT系列的设计理念和可靠性在业界广受好评。由于基于相同的平台,GT61A较大限度地实现了标准化,并能够使用通用组件,从而确保用户从一开始就能实现高可靠性。

  • GT62A 6千赫兹准分子激光器60W版本 激光器模块和系统
    日本
    厂商:Gigaphoton Inc.
    混合气体: ArF 波长: 193 nm 脉冲能源: 10mJ 平均功率: 60W 最大重复率: 6000Hz

    GT系列的较新型号GT62A是第四代型号,采用相同的注塑锁定平台。它提供世界上较高的输出功率(90瓦),以支持双图案浸没式光刻*。为了满足各种客户需求,还提供60瓦版本的GT62A,以确保较大的投资回报。此外,GT62A采用了可延长激光室和光学器件使用寿命的技术,从而较大限度地减少停机时间,以更低的经济风险支持较先进的处理。GT系列已经被全球半导体行业的主要用户所接受,其设计理念和可靠性广受好评。GT62A基于相同的平台,因此较大限度地实现了标准化,并能够使用通用组件。因此,GT62A的用户可以从一开始就受益于其高可靠性优势。

  • GT62A 6千赫兹准分子激光器90W版本 激光器模块和系统
    日本
    厂商:Gigaphoton Inc.
    混合气体: ArF 波长: 193 nm 脉冲能源: 15mJ 平均功率: 90W 最大重复率: 6000Hz

    GT系列的较新型号GT62A是第四代型号,采用相同的注塑锁定平台。它提供世界上较高的输出功率(90瓦),以支持双图案浸没式光刻*。为了满足各种客户需求,还提供60瓦版本的GT62A,以确保较大的投资回报。此外,GT62A采用了可延长激光室和光学器件使用寿命的技术,从而较大限度地减少停机时间,以更低的经济风险支持较先进的处理。GT系列已经被全球半导体行业的主要用户所接受,其设计理念和可靠性广受好评。GT62A基于相同的平台,因此较大限度地实现了标准化,并能够使用通用组件。因此,GT62A的用户可以从一开始就受益于其高可靠性优势。

  • GT63A ArF准分子激光器60W版本 激光器模块和系统
    日本
    厂商:Gigaphoton Inc.
    混合气体: ArF 波长: 193 nm 脉冲能源: 10mJ 平均功率: 60W 最大重复率: 6000Hz

    GT系列的较新车型GT63A是第五代车型,采用相同的注塑锁定平台。GT63A安装了四个“S”系列功能,旨在响应客户的需求,创造额外的价值:SMPL(光谱多定位LNM)*1,先进个客户认可的光谱控制(“聚焦钻孔”)技术,以实现更广泛的焦深;SGRYCOS(Sixty Gigaphoton Recycled Chamber Operation System),一种可降低运营成本的独特舱室技术;STGM(Supreme Total Gas Manager),一种气体管理系统,可在使用更少工艺气体的同时实现更高的正常运行时间;以及SMonitoring(智能监控),实时信息管理跟踪市场上较高的激光稳定性。GT系列已被我们的主要客户广泛接受;GT63A以其设计理念和高可靠性享誉全球,GT63A与之前的GT系列车型在同一平台上设计,以尽可能多地使用通用部件,从而确保在引入客户现场后立即获得高可靠性。

  • GT63A ArF准分子激光器90W版本 激光器模块和系统
    日本
    厂商:Gigaphoton Inc.
    混合气体: ArF 波长: 193 nm 脉冲能源: 15mJ 平均功率: 90W 最大重复率: 6000Hz

    GT系列的较新型号GT63A是第五代型号,采用相同的注锁平台。GT63A安装了四个“S”系列功能,旨在满足客户创造额外价值的需求:SMPL(光谱多定位LNM)*1,先进客户认可的光谱控制(“聚焦钻孔”)技术,以实现更广泛的焦深;SGRYCOS(Sixty Gigaphoton Recycled Chamber Operation System),一种可降低运营成本的独特舱室技术;STGM(Supreme Total Gas Manager),一种气体管理系统,可在使用更少工艺气体的同时实现更高的正常运行时间;以及SMonitoring(智能监控),实时信息管理跟踪市场上较高的激光稳定性。GT系列已被我们的主要客户广泛接受;以其设计理念和高可靠性享誉全球。GT63A的设计平台与以前的GT系列型号相同,以便使用尽可能多的通用组件,从而确保在引入客户现场后立即获得高可靠性。

  • GT64A ArF浸入式准分子激光器 激光器模块和系统
    日本
    厂商:Gigaphoton Inc.
    混合气体: ArF 波长: 193 nm 脉冲能源: 20mJ 平均功率: 120W 最大重复率: 6000Hz

    GT64A提供业界较高的120W输出功率,具有高光束性能和稳定性。该产品的设计重点是性能、效率和减少环境影响,挑战总运营成本效率的极限。这是继承Gigaphoton的Timeless Injection Lock(TM)技术的第六代产品。基于GT平台著名的双腔架构、输出控制算法、光束对准技术,GT64A可提供120W的功率输出、卓越的光束性能和稳定性,以及业界一流的可靠性、恢复时间和模块寿命。

  • GT65A ArF准分子激光器 激光器模块和系统
    日本
    厂商:Gigaphoton Inc.
    混合气体: ArF 波长: 193 nm 脉冲能源: 20mJ 平均功率: 60W 最大重复率: 6000Hz

    GT65A是使用注入锁定方法的第七代平台,安装了领先的技术,并通过可变光谱宽度(E95)带来的“曝光性能改进”和改进的稳定性、延长的模块寿命带来的“高可用性”以及无氦气带来的“降低的环境负荷”,为客户进一步提高了生产率(晶圆产量)。

  • Laserlyte绿色515纳米对准系统G10 激光器模块和系统
    英国
    厂商:Global Laser Ltd
    运行模式: Continuous Wave (CW) 激光源类型: Diode 投影类型: Dot, Line 波长: 515nm 输出功率: 10mW

    LaserLyte校准系统是一种独特的、用户可调节的即插即用系统,适用于广泛的应用。这些包括服装、布料、纸张、木材和金属材料的对准和定位,或者在诸如带锯和圆锯之类的应用中需要导向装置的情况下。较新的G版本利用半导体绿色激光二极管来提供高可见绿光的投影。这允许在高环境光水平下或在较长距离处观看投影,同时将激光功率水平保持在安全激光分类内。对于人眼,515nm的激光波长比635nm的等效功率亮3倍。

  • Laserlyte绿色515纳米对准系统G50 激光器模块和系统
    英国
    厂商:Global Laser Ltd
    运行模式: Continuous Wave (CW) 激光源类型: Diode 投影类型: Dot, Line 波长: 515nm 输出功率: 50mW

    LaserLyte校准系统是一种独特的、用户可调节的即插即用系统,适用于广泛的应用。这些包括服装、布料、纸张、木材和金属材料的对准和定位,或者在诸如带锯和圆锯之类的应用中需要导向装置的情况下。较新的G版本利用半导体绿色激光二极管来提供高可见绿光的投影。这允许在高环境光水平下或在较长距离处观看投影,同时将激光功率水平保持在安全激光分类内。对于人眼,515nm的激光波长比635nm的等效功率亮3倍。

  • Imatronic LCG115 激光器模块和系统
    英国
    厂商:Global Laser Ltd
    类型: Laser Module, Alignment Laser 工作模式: CW/Pulsed Laser 波长: 515, 635 nm 可调谐: No 激光颜色: Green, Red

    Global Laser Ltd生产的iMatronic LCG115是一款波长为515,635 nm,功率为1至5 MW,工作温度为-10至45摄氏度,存储温度为-10至85摄氏度的激光器。有关iMatronic LCG115的更多详细信息,请联系我们。

  • Imatronic LDL175 激光器模块和系统
    英国
    厂商:Global Laser Ltd
    类型: Laser Module, Alignment Laser 工作模式: CW Laser 可调谐: No 激光颜色: Green, Red, Infrared 功率: 1 to 5 mW

    Global Laser Ltd的iMatronic LDL175是一款波长为515、635、650、670、780、850 nm,功率为1至5 MW,工作温度为-10至45摄氏度,存储温度为-10至85摄氏度的激光器。iMatronic LDL175的更多详细信息可在下面查看。

  • Imatronic LDM115 激光器模块和系统
    英国
    厂商:Global Laser Ltd
    类型: Laser Module, Alignment Laser 工作模式: CW/Pulsed Laser 可调谐: No 激光颜色: Green, Red, Infrared 功率: 1 to 5 mW

    Global Laser Ltd的iMatronic LDM115是一款波长为515、635、650、670、780、850 nm的激光器,功率为1至5 MW,工作温度为-10至45摄氏度,存储温度为-10至85摄氏度。有关iMatronic LDM115的更多详细信息,请联系我们。

  • Imatronic LDM125 激光器模块和系统
    英国
    厂商:Global Laser Ltd
    类型: Laser Module, Alignment Laser 工作模式: CW/Pulsed Laser 可调谐: No 激光颜色: Green, Red, Infrared 功率: 1 to 5 mW

    Global Laser Ltd的iMatronic LDM125是一款波长为515、635、650、670、780、850 nm的激光器,功率为1至5 MW,工作温度为-10至45摄氏度,存储温度为-10至85摄氏度。iMatronic LDM125的更多详细信息可在下面查看。

  • Imatronic LDM126 激光器模块和系统
    英国
    厂商:Global Laser Ltd
    类型: Laser Module, Alignment Laser 工作模式: CW/Pulsed Laser 可调谐: No 激光颜色: Green, Red, Infrared 功率: 1 to 5 mW

    Global Laser Ltd的iMatronic LDM126是一款波长为515、635、650、670、780、850 nm的激光器,功率为1至5 MW,工作温度为-10至45摄氏度,存储温度为-10至85摄氏度。iMatronic LDM126的更多详细信息可在下面查看。

  • Imatronic LDM127 激光器模块和系统
    英国
    厂商:Global Laser Ltd
    类型: Laser Module, Alignment Laser 工作模式: CW/Pulsed Laser 可调谐: No 激光颜色: Green, Red, Infrared 功率: 1 to 5 mW

    Global Laser Ltd的iMatronic LDM127是一款波长为515、635、650、670、780、850 nm的激光器,功率为1至5 MW,工作温度为-10至45摄氏度,存储温度为-10至85摄氏度。iMatronic LDM127的更多详细信息可在下面查看。

  • Imatronic LDM145 激光器模块和系统
    英国
    厂商:Global Laser Ltd
    类型: Laser Module, Alignment Laser 工作模式: CW Laser 可调谐: No 激光颜色: Green, Red, Infrared 功率: 1 to 5 mW

    Global Laser Ltd的iMatronic LDM145是一款波长为515、635、650、670、780、850 nm的激光器,功率为1至5 MW,工作温度为-10至45摄氏度,存储温度为-10至85摄氏度。有关iMatronic LDM145的更多详细信息,请联系我们。