平坦度小于零点1波有效值的薄基材、二色性和多色性薄膜滤波器
2023-06-28
来源公司：Alluxa
Alluxa正在推出一个新的薄基板超平分色镜和多色镜系列，用于要求平面度水平超过每英寸0.1波RMS的成像应用。这些滤光片是独特的，因为它们通过消除离子束溅射（IBS）和离子辅助沉积（IAD）等传统离子沉积工艺的高应力来实现平整度。Alluxa的新技术使用一种新颖的等离子体涂层工艺，产生低损耗、完全致密的电介质薄膜，主涂层一侧的净应力基本为零。这意味着涂层不需要行业标准的背面补偿，也不需要使用非常厚和昂贵的基材来保证平整的表面数字。背面涂有简单的低成本和高性能的抗反射（AR）涂层。Alluxa已经在每英寸632.8纳米处实现了<0.1波RMS的平面度水平，基材薄至0.5毫米。
平坦度小于零点1波有效值的薄基材、二色性和多色性薄膜滤波器 文件预览
更多下载