表面平整度和波前误差

2023-06-28

来源公司：Alluxa

表面平整度描述了一个光学元件的表面与一个完全平整的参考平面之间的偏差。滤光片表面平整度是用干涉仪（通常是激光菲佐干涉仪）测量的，它将这种偏差表示为被称为干涉条纹的明暗带图案。干涉条纹是破坏性干扰的直观表示，这种干扰是由从光学滤光片上反射的光和参考平面之间的相位差异造成的。一旦获得干涉图，就可以用后处理软件来创建表面的三维模型。

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