三维机械运动的光学分析-Polytec

2023-05-16

来源公司：Polytec

在研究和开发活动中以及在晶片级的常规测量中，诸如微机电系统（MEMS）的微器件的精确实验动态表征的重要性不断增加。对于这种测量，由于激光多普勒测振仪能够实时、非侵入性、相位分辨和超高振动分辨率地获得整个频谱，因此激光多普勒测振仪已被确立为基本工具。结果，可以容易、快速和准确地研究沉降特性、瞬态响应和任何振动波形（不限于周期性运动）。

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