激光测振法简介及其在微机械装置开发中的作用-Polytec

2023-05-10

来源公司：Polytec

利用基于半导体的微加工技术来制造微机电系统（MEMS）器件。它们使用压电、静电、磁或热方法来管理微米级可移动组件。自20世纪80年代初以来，每年制造出数十亿个MEMS换能器和传感器，用于日常生活的各个方面。例如，它们可以在消费设备（麦克风和加速计）、车辆（惯性和压力传感器）和数字投影系统（光学微镜）中找到。

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