用于表征MEMS设备的先进光学测量系统-Polytec

2023-05-08

来源公司：Polytec

有多种测量系统可用于以光学方式表征MEMS器件。这些测量系统是可用的各种技术，其可以测量许多不同的物理性质（这些可以包括膜厚度、尺寸、横截面、台阶高度、粗糙度、静摩擦、应力、响应时间、弹性模量、谐振频率、热膨胀等）。

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