用于纳米定位和微定位应用的超精密压电和电动执行器-PI (Physik Instrumente) LP

用于纳米定位和微定位应用的超精密压电和电动执行器-PI (Physik Instrumente) LP

2023-04-27

来源公司:PI

传统的精密定位系统(基于滚珠丝杠传动或电磁直线电机)已被工程师和研究人员使用多年,并随着时间的推移逐渐得到改进。它们为需要长距离定位重负载的应用(如龙门系统和多轴加工中心)提供了许多优势。最近,电机的小型化也有助于小型定位系统的设计,这些系统非常适合小尺寸运动控制应用。然而,对于光学、半导体、生物/纳米技术领域中最苛刻的应用,传统方法往往不是答案。由于新的应用需要更快、更精确的运动控制系统,制造商必须比以往任何时候都更深入地挖掘才能跟上步伐。

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