相干扫描干涉法测量大斜度零件-AMETEK Ultra Precision Technologies
2023-03-29
Etrology工具通常涉及斜率接受度和测量速度之间的权衡。因此，当测量具有高斜率的机械加工零件时，需要在可接受的吞吐量和足够的数据覆盖范围之间进行折衷。例如，在光学系统中，较高NA的物镜具有较高的斜率接受度，但它们通常具有较窄的视场（FOV）。如果感兴趣的区域超过单个FOV，这将导致单独的测量。
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