光学表面地形学： 垂直分辨率的测量和意义-AMETEK Ultra Precision Technologies

2023-03-28

来源公司：AMETEK Ultra Precision Technologies

选择用于区域表面形貌测量的技术或仪器的第一步是性能规格。如图1的地形图所示，为了精确测量表面的纹理，需要对作为X-y平面中的位置的函数的表面高度Z的微小差异的灵敏度。

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