电压控制过渡模式
2023-02-09
在现代工业中，反应溅射是一种广泛成功的沉积绝缘和硬质涂层的方法。与蒸发相比，溅射提供了离子支撑沉积的优点[1]，尽管设备和电力成本相当高，但仍具有工业吸引力。
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在现代工业中，反应溅射是一种广泛成功的沉积绝缘和硬质涂层的方法。与蒸发相比，溅射提供了离子支撑沉积的优点[1]，尽管设备和电力成本相当高，但仍具有工业吸引力。
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