新型脉冲直流技术–双用途电源
2023-02-09
直流和脉冲直流溅射是最常用的方法之一工业规模的溅射技术。它用于工具涂层，装饰涂料、光伏电池生产等。脉冲直流技术的引入实现了大规模生产反应磁控管沉积非导电复合涂层溅射。使用脉冲直流电源传输的巨大优势是目标表面上电弧的显著减少，因此涂层质量的改善和涂层寿命的显著延长机械清洁无维护制动器的运行时间目标的。随着时间的推移，电源技术允许工作脉冲频率高达100kHz以及使用相反的电源制动期间的电压，以进一步降低电弧放电概率。
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