电弧管理

2023-02-09

来源公司：TRUMPF Photonics Components GmbH

在反应磁控溅射中众所周知的问题是阴极处产生电弧。这有两个主要原因：（1）磁控管等离子体在高电流密度下工作，因此有利于从异常辉光到电弧的转变。（2）由于氧或氮的加入，阴极表面不是完全金属的，而是部分或完全金属的被吸收的气体覆盖。介电层（氧化物、氮化物）促进辉光到电弧的转变，局部非常高电流密度。这是在早期的等离子体物理学中发现的。研究

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