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400型单元素紫外-可见-红外热释电检测器

美国

分类：激光能量计

厂商：Eltec Instruments Inc

最大重复率: 10000Hz 有效光圈: 2.0mm 光谱范围: 0.1 - 1000 um

型号400由单个钽酸锂传感元件组成，该元件与光学传感器一起密封在TO-5晶体管外壳中。专利元件安装技术用于增加低频响应并减少颤噪效应。

405型高增益热补偿热释电红外探测器

美国

分类：激光能量计

厂商：Eltec Instruments Inc

最大重复率: 1Hz 有效光圈: 1.0mm 光谱范围: 0.1 - 1000 um

405型由两个钽酸锂传感元件、一个负载电阻和一个JFET组成，封装在一个带有光学滤波器的TO-5晶体管封装中。一个确定位置的传感元件暴露于通过滤光器进入的红外辐射，而第二元件被屏蔽于外部辐射。

406型单元件热释电红外探测器，带光源跟踪器

美国

分类：激光能量计

厂商：Eltec Instruments Inc

最大重复率: 1Hz 有效光圈: 2.0mm 光谱范围: 0.1 - 1000 um

405型由两个钽酸锂传感元件、一个负载电阻和一个JFET组成，封装在一个带有光学滤波器的TO-5晶体管封装中。专利元件安装技术用于提高热时间常数和减少颤噪效应。

356型光刻机紫外线强度和能量计，带9点记忆

美国

分类：激光能量计

厂商：OAI

最大可测量能量: 9999mJ 光谱范围: 356 - 456 um

用于接触掩模对准器的356型光刻UV强度和能量计是一种基于微处理器的监视器，允许存储和调用从曝光系列（400 MW/cm2，9999 MJ/cm2，较大9999秒）收集的多个曝光参数（强度、能量和时间）。它计算百分比偏差并平均能量。对于220、254、260、310、365、380、400、420、436和540nm波长。其他波长也是可用的。

457型紫外线强度和能量计

美国

分类：激光能量计

厂商：OAI

最大可测量能量: 9999mJ 光谱范围: 0.365 - 0.436 um

457型紫外光强度和能量系统专为与ASML、佳能、尼康和GCA&Rudolph Technology晶圆步进机配合使用而设计，可精确描绘曝光能量（剂量），以评估步进机的性能。它读取400和420 nm波长的强度、能量和时间（16-1600 MW/cm²，999.9 MJ/cm²）。可选的RS232电缆可与457软件配合使用，将剂量数据发送到计算机。

458型用于晶圆步进机的紫外线高强度和能量测量仪

美国

分类：激光能量计

厂商：OAI

最大可测量能量: 9999mJ 光谱范围: 0.365 - 0.436 um

基于微处理器的458型UV光强度和能量系统精确地描绘曝光能量（剂量），以评估步进机的性能。它设计用于ASML高强度、佳能、尼康和Ultratech高强度晶片步进机。读取365、400、420和436 nm波长的强度、能量和时间（4000 MW/cm²，999.9 MJ/cm²）。可选的RS232电缆可与458软件配合使用，将剂量数据发送到计算机。

200kHz能量计M6-12.5-PY

加拿大

分类：激光能量计

厂商：Gentec-EO

最大可测量能量: 200mJ 最大重复率: 200000Hz 有效光圈: 12.5mm 光谱范围: 0.35 - 2.5 um

以马赫数6测量高达200 kHz的每个脉冲。以12位数字精度进行测量，并实时捕获多达400万个脉冲。我们的马赫数为6的焦耳计是世界上先进能达到这种速度和精度的仪器。它旨在支持我们的全套快速能量探测器，包括硅、InGaAs和热释电探测器。测量范围为PJ至MJ和0.35至2.5μm。使用M6-Si探测器和M6-UV-QED附件，您可以在266 nm处进行相对测量。

200 kHz能量计M6-6-In

加拿大

分类：激光能量计

厂商：Gentec-EO

最大可测量能量: 200mJ 最大重复率: 200000Hz 有效光圈: 6mm 光谱范围: 0.9 - 1.6 um

以马赫数6测量高达200 kHz的每个脉冲。以12位数字精度进行测量，并实时捕获多达400万个脉冲。我们的马赫数为6的焦耳计是世界上先进能达到这种速度和精度的仪器。它旨在支持我们的全套快速能量探测器，包括硅、InGaAs和热释电探测器。测量范围为PJ至MJ和0.35至2.5μm。使用M6-Si探测器和M6-UV-QED附件，您可以在266 nm处进行相对测量。

200kHz能量计M6-6-In-L

加拿大

分类：激光能量计

厂商：Gentec-EO

最大可测量能量: 2mJ 最大重复率: 200000Hz 有效光圈: 6mm 光谱范围: 0.9 - 1.6 um

以马赫数6测量高达200 kHz的每个脉冲。以12位数字精度进行测量，并实时捕获多达400万个脉冲。我们的马赫数为6的焦耳计是世界上先进能达到这种速度和精度的仪器。它旨在支持我们的全套快速能量探测器，包括硅、InGaAs和热释电探测器。测量范围为PJ至MJ和0.35至2.5μm。使用M6-Si探测器和M6-UV-QED附件，您可以在266 nm处进行相对测量。

200 kHz能量计M6-6-PY

加拿大

分类：激光能量计

厂商：Gentec-EO

最大可测量能量: 20mJ 最大重复率: 200000Hz 有效光圈: 6mm 光谱范围: 0.35 - 2.5 um

以马赫数6测量高达200 kHz的每个脉冲。以12位数字精度进行测量，并实时捕获多达400万个脉冲。我们的马赫数为6的焦耳计是世界上先进能达到这种速度和精度的仪器。它旨在支持我们的全套快速能量探测器，包括硅、InGaAs和热释电探测器。测量范围为PJ至MJ和0.35至2.5μm。使用M6-Si探测器和M6-UV-QED附件，您可以在266 nm处进行相对测量。

200 kHz能量计M6-6-Si

加拿大

分类：激光能量计

厂商：Gentec-EO

最大可测量能量: 200mJ 最大重复率: 200000Hz 有效光圈: 6mm 光谱范围: 0.35 - 1.1 um

以马赫数6测量高达200 kHz的每个脉冲。以12位数字精度进行测量，并实时捕获多达400万个脉冲。我们的马赫数为6的焦耳计是世界上先进能达到这种速度和精度的仪器。它旨在支持我们的全套快速能量探测器，包括硅、InGaAs和热释电探测器。测量范围为PJ至MJ和0.35至2.5μm。使用M6-Si探测器和M6-UV-QED附件，您可以在266 nm处进行相对测量。

200 kHz能量计M6-6-Si-L

加拿大

分类：激光能量计

厂商：Gentec-EO

最大可测量能量: 2mJ 最大重复率: 200000Hz 有效光圈: 6mm 光谱范围: 0.35 - 1.1 um

以马赫数6测量高达200 kHz的每个脉冲。以12位数字精度进行测量，并实时捕获多达400万个脉冲。我们的马赫数为6的焦耳计是世界上先进能达到这种速度和精度的仪器。它旨在支持我们的全套快速能量探测器，包括硅、InGaAs和热释电探测器。测量范围为PJ至MJ和0.35至2.5μm。使用M6-Si探测器和M6-UV-QED附件，您可以在266 nm处进行相对测量。