固体Etalons

HelioSpetTM H6的设计可满足较苛刻的3D在线检测任务的规格，如测量台阶高度、角度、形状、粗糙度、波纹、波度、缺陷、划痕、磨损平整度、共面性、变形膜厚度（层析成像模式）。得益于Heliotis在工业应用3D传感器方面的长期经验，H6将干涉测量精度与鲁棒性和高吞吐量相结合。

QIS干涉仪完全由QED技术公司设计、制造和建造。它针对拼接进行了优化，使客户能够测量更多零件，并提高了精度、速度和易用性。QED的QIS集成了硬件和软件功能，旨在增强QED计量产品的性能。专有的QIS相干成像系统允许用户获得更高的条纹密度和更大的对比度。QIS先进的光学设计减少了常见的误差，如回扫和放大误差。此外，QIS提供的更大的焦点行程允许测量比通用干涉仪更短半径的零件。QIS也使用与QED的Q-Flex™MRF™系统相同的软件平台QED.NET进行设计。这使得系统之间的无缝通信成为可能。新的1920 X 1920像素，高分辨率相机可以提高点测量能力。这意味着您可以更准确地表征MRF移除函数，使您能够做出更好的制造工艺决策，并更快、更准确地实现收敛。

Zygo的新型VeriFire HDX干涉仪专为极高性能光学元件和系统的中间空间频率成分表征而设计和制造。该系统包括广受欢迎的VeriFire HD的所有强大功能（如QPSI和长寿命稳定激光器），并增加了重要的增强功能，如新的同类较佳成像和高仪器传递函数（ITF）分辨率、中间空间频率内容和高斜率表面偏差的卓越特性，以及Zygo的DynaPhase®动态采集技术（可选），该技术可消除振动引起的问题，并在几乎任何环境中实现精密计量。

波长: 1064 nm

4D Technology的PhaseCam NIR是一种波长为1064 nm的干涉仪，工作温度为16至27摄氏度。PhaseCam NIR的更多详细信息可在下面查看。

波长: 630 to 824 nm探测器类型: Photodiode

Thorlabs公司的SA30-73是一款干涉仪，自由光谱范围（FSR）为1.5 GHz，波长为630至824 nm.有关SA30-73的更多详细信息，请参阅下文。