NSLI-543-1 N-Slit激光干涉仪

这些高度集成的相移Twyman-Green干涉仪传感器可满足现代质量管理的较苛刻要求。结合µShapeTM测量和分析软件，这些高性能精密测量仪器可提供有关样品表面、波前或测试物镜像差的信息。

F01是具有聚焦探测光束的传感头类型。这允许测量小目标的位移。此外，传感器头提供高角度公差。如图1所示，在预准直之后，集成分束器将光分成参考光束和探测光束。参考光束被参考反射镜反射，该参考反射镜被涂覆到分束器立方体的一侧。探测光束由透镜系统聚焦并从头部射出。分束器的前表面标记每个皮级测量的绝对零位置，因为这里探测光束和参考光束具有相等的长度。因此，工作距离（WD）不等于距头部的距离（即焦距f），因为透镜系统仅集成到探测光束中。

波长: 1064 nm

4D Technology的PhaseCam NIR是一种波长为1064 nm的干涉仪，工作温度为16至27摄氏度。PhaseCam NIR的更多详细信息可在下面查看。

来自Xonox Technology GmbH的X-FIZ 100 ECO是一种相移斐索干涉仪，具有130万像素的单色相机。它具有远程控制，定位电动焦点调节和10倍光学放大变焦。该干涉仪具有632.8nm HeNe激光源，其产生2mW Class-1偏振输出。它可以通过带有有线遥控器的USB 3.0接口进行控制，并具有用于变焦和对焦的旋转定位控制器。X-FIZ 100 ECO具有刚性框架和坚固的光学机械设计，可确保在安装时和随着时间的推移保持对准。它有一个带自动饱和调节的智能电子衰减器和一个带Tip-Tilt TS支架的压电移相器，该支架与Zygo式卡口和XonOx 4+光学连接器兼容。该干涉仪需要110-240 V的交流电源，采用310 X 285 X 595 nm的封装。

波长: 1225 to 1375 nm探测器类型: PIN

Thorlabs公司的INT-MZI-1300是一款干涉仪，自由光谱范围（FSR）为103.3 GHz，波长为1225至1375 nm.有关INT-MZI-1300的更多详细信息，请参阅下文。